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J-GLOBAL ID：201102204986753456   整理番号：11A0467044

過酸化水素ベース研磨剤中でのタンタル化学的機械的研磨を改善する酢酸と燐酸の追加

Acetic acid and phosphoric acid adding to improve tantalum chemical mechanical polishing in hydrogen peroxide-based slurry

著者 (3件)： CHEN Y.H. (National Taiwan Univ., Taipei, TWN) ,  YEN S.C. (National Taiwan Univ., Taipei, TWN) ,  TSAI T.H. (National Taipei Univ. Technol., Taipei, TWN)
資料名： Microelectronic Engineering  (Microelectronic Engineering)
巻： 87  号： 2  ページ： 174-179  発行年： 2010年02月 
JST資料番号： C0406B  ISSN： 0167-9317  CODEN： MIENEF  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (6件)： 過酸化水素 ,  研磨剤 ,  タンタル ,  化学的機械的研磨 ,  酢酸 ,  燐酸