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J-GLOBAL ID：201102205406449549   整理番号：11A0474271

エリプソメトリによるレジスト膜の逆問題解決と光学指標決定

Inverse problem solving and optical index determination of resist films by ellipsometry

著者 (4件)： TORTAI J.H. (LTM, CNRS, Grenoble, FRA) ,  AKBALIK RAPINE A. (LTM, CNRS, Grenoble, FRA) ,  SOULAN S. (Georgia Inst. of Technol., GA, USA) ,  SCHIAVONE P. (Georgia Inst. of Technol., GA, USA)
資料名： Microelectronic Engineering  (Microelectronic Engineering)
巻： 87  号： 5-8  ページ： 893-898  発行年： 2010年05月 
JST資料番号： C0406B  ISSN： 0167-9317  CODEN： MIENEF  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (5件)： エリプソメトリ ,  レジスト膜 ,  問題解決 ,  光学 ,  指標