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J-GLOBAL ID：201102206567696240   整理番号：11A0551656

最新の光学形状計測と産業への応用 光干渉法による三次元計測

著者 (1件)： 北川克一 (東レエンジニアリング 開発セ)
資料名： 計測と制御  (Journal of the Society of Instrument and Control Engineers)
巻： 50  号： 2  ページ： 97-104  発行年： 2011年02月10日 
JST資料番号： F0131A  ISSN： 0453-4662  CODEN： KESEA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 光干渉を利用した三次元計装は,ニュートンリングやマイケルソン干渉計に代表されるように,測定面からの反射光と参照面からの反射光とを干渉させた時に波長の1/2の光路差ごとに明暗の縞が観測されることを利用している。縞の計数ではなく,位相を求めることにより,サブナノメートルの高さ測定精度が得られ,面形状計測法としては最も高精度である。光波という安定で,かつトレーサビリティの取れる物差しを使うので,基準的な測定装置としても使用される。また,最近の電子技術やコンピュータ計算能力の飛躍的な向上により,より高度なアルゴリズムが実用化され,顕著な成果が得られている。本解説では,光干渉法による三次元計測の原理,応用,最近のトピックスを紹介した。

シソーラス用語： *形状測定 ,  *光学的測定 ,  実用化 ,  *光干渉法 ,  *三次元測定 ,  干渉縞 ,  *位相シフト ,  白 ,  透明材料 ,  膜 ,  計測
準シソーラス用語： 形状計測 ,  光学測定 ,  三次元計測 ,  *産業応用 ,  白色 ,  *透明膜計測 ,  表面形状

分類 (2件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O) ,  光学的測定とその装置一般  (BD07010S)

引用文献 (32件)：

• 北川克一. 光干渉法. 最新光三次元計測. 2006, 66-73
• 東レエンジニアリング(株). 表面形状測定装置 SP-700/500. http://www.toray-eng.co.jp/lcd/inspection/lineup/sp-500.html
• BRUNNING, J. H. Digital wavefront measuring interferometer for testing optical surfaces and lenses. Appl. Opt. 1974, 13, 2693-2702
• BALASUBRAMANIAN, N. Optical system for surface topography measurement. USP 4, 340, 306. 1982
• BHUSHAN, B. Measurement of surface topography of magnetic tapes by Mirau interferometry. Appl. Opt. 1985, 24, 1489-1497

タイトルに関連する用語 (6件)： 光学 ,  形状計測 ,  産業 ,  応用 ,  光干渉法 ,  三次元計測