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J-GLOBAL ID：201102207673781695   整理番号：11A0467196

ガスセンサのための多結晶3C-SiC懸濁薄膜上のマイクロヒータの作製とその特性評価

Fabrication of micro heaters on polycrystalline 3C-SiC suspended membranes for gas sensors and their characteristics

著者 (2件)： CHUNG G.-S. (Univ. Ulsan, Ulsan, KOR) ,  JEONG J.-M. (Univ. Ulsan, Ulsan, KOR)
資料名： Microelectronic Engineering  (Microelectronic Engineering)
巻： 87  号： 11  ページ： 2348-2352  発行年： 2010年 
JST資料番号： C0406B  ISSN： 0167-9317  CODEN： MIENEF  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (8件)： ガスセンサ ,  多結晶 ,  3C-SiC ,  懸濁 ,  薄膜 ,  マイクロヒータ ,  作製 ,  特性評価