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J-GLOBAL ID：201102210750292245   整理番号：11A1329180

ナノメートル厚さ潤滑膜の高分解能観測用のエリプソメトリー顕微鏡の開発

Development of Ellipsometric Microscope for High-Resolution Observation of Nanometer-Thick Lubricant Films

著者 (5件)： QINGQING Liu (Dep. of Micro-Nano Systems Engineering, Nagoya Univ.) ,  FUKUZAWA Kenji (Dep. of Micro-Nano Systems Engineering, Nagoya Univ.) ,  KAJIHARA Yosuke (Dep. of Micro-Nano Systems Engineering, Nagoya Univ.) ,  ZHANG Hedong (Dep. of Complex Systems Sci., Nagoya Univ.) ,  ITOH Shintaro (Dep. of Micro-Nano Systems Engineering, Nagoya Univ.)
資料名： Tribology Online (Web)  (Tribology Online (Web))
巻： 6  号： 6  ページ： 251-256 (J-STAGE)  発行年： 2011年 
JST資料番号： U0046A  ISSN： 1881-2198  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： nm(ナノメートル)厚み液体潤滑剤の実時間可視化は,液体薄膜を用いた潤滑現象,例えば,ハードディスクドライブでの潤滑の解明に有効である。本報では,薄膜の研究用として広く利用されるエリプソメトリーをベースとする顕微鏡である垂直対物ベースエリプソメトリー顕微鏡を用いた膜厚測定法について検討した。本手法では,強度信号を厚みに直接変換でき,キャリブレーションについても他の機器なしで位相シフト法によりできることを示した。またサブnm厚さおよびサブμm(マイクロメートル)横方向分解能を,nm厚み潤滑膜の可視化に関して実験的に求めた。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *偏光解析法 ,  *実時間処理 ,  可視化 ,  *潤滑膜 ,  膜厚 ,  対物レンズ ,  *高分解能 ,  横方向 ,  駆動機構 ,  *磁気ディスク ,  薄膜 ,  エリプソメータ ,  *顕微鏡 ,  *ナノ構造
準シソーラス用語： ハードディスクドライブ

分類 (3件)： 偏光測定と偏光計  (BD07050K) ,  潤滑一般  (QB02010S) ,  記憶装置  (JC04060F)

引用文献 (7件)：

• [1] Linke, F. and Merkel, R., “Quantitative Ellipsometric Microscopy at the Silicon-Air Interface,” Rev. Sci. Instrum., 76, 6, 2005, 063701-1-063701-9.
• [2] Fukuzawa, K., Yoshida, T., Itoh, S. and Zhang, H., “Motion Picture Imaging of a Nanometer-Thick Liquid Film Dewetting by Ellipsometric Microscopy with a Sub-μm Lateral Resolution,” Langmuir, 24, 20, 2008, 11645-11650.
• [3] Azzam, R. M. A. and Bashara, N. M. “Ellipsometry and Polarized Light,” North-Holland, Amsterdam, 1987, 332.
• [4] Fukuzawa, K., Noda, T. and Mitsuya, Y., “Direct Visualization of Molecularly Thin Lubricant Films on Magnetic Disks with a Digitally Enhanced Ellipsometric Microscope,” IEEE Trans. Magn., 39, 2, 2003, 898-902.
• [5] Fukuzawa, K., Shimuta, T., Nakada, A., Zhang, H., and Mitsuya, Y. “Measurement of Thickness of Molecularly Thin Lubricant Film Using Ellipsometric Microscopy,” IEEE Trans. Magn., 41, 2, 2005, 808-811.

タイトルに関連する用語 (7件)： 厚さ ,  潤滑膜 ,  高分解能 ,  観測 ,  エリプソメトリー ,  顕微鏡 ,  開発