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J-GLOBAL ID：201102212951261170   整理番号：11A0300862

DCパルスマグネトロンによって調製した透明酸化物の光学的および機械的性質の最適化

Optimization of the Optical and Mechanical Properties of Transparent Oxide Films Prepared by DC Pulsed Magnetron

著者 (2件)： BERASATEGUI E. G. (Tekniker Res. Centre Eibar, Guipuzcoa, ESP) ,  BARRIGA J. (Tekniker Res. Centre Eibar, Guipuzcoa, ESP)
資料名： Proceedings of the Annual Technical Conference. Society of Vacuum Coaters  (Proceedings of the Annual Technical Conference. Society of Vacuum Coaters)
巻： 53rd  ページ： 365-369  発行年： 2010年 
JST資料番号： E0063B  ISSN： 0737-5921  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： DC反応性マグネトロンスパッタリングによって蒸着したTiO₂およびAl₂O₃膜を分析し,成長条件の関数として最適な光学的および機械的性質を得た。マグネトロン電力は1から4kWであり,チタンおよびアルミニウムターゲットを用いてArとO₂のガス混合物中で蒸着を行った。Al₂O₃については,蒸着速度に対して電圧および電力が大きく影響したが,屈折率は影響を受けなかった。TiO₂膜については,研究したパラメータは蒸着速度に影響を与えなかったが,屈折率は大きく変化した。耐摩耗性では,Al₂O₃被覆はサイクル数を増すと膜の破壊が起こり,カソード電位を低くすると寿命が短く,スパッタリング電力を高くすると寿命が永くなった。TiO₂については摩擦係数および耐磨耗性の進化の間に明確な関係は見出されなかった。

シソーラス用語： パルス化 ,  *マグネトロンスパッタリング ,  *反応性スパッタリング ,  透明材料 ,  光学的性質 ,  機械的性質 ,  屈折率 ,  耐摩耗性 ,  *酸化チタン ,  *酸化アルミニウム ,  電圧 ,  電力 ,  摩擦係数 ,  寿命
準シソーラス用語： *二酸化チタン

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (8件)： DC ,  パルス ,  マグネトロン ,  調製 ,  酸化物 ,  光学 ,  機械的性質 ,  最適化