種々の同期引き込み電圧を有する新しいマイクロミラーの設計

BEERNAERT R.; PODPROCKY T.; AVCI A.; SMET J.D.; SMET H.D.; COSTER J.D.; WITVROUW A.; HASPESLAGH L.; SMET H.D.

文献

J-GLOBAL ID：201102213096314802 整理番号：11A0474220

種々の同期引き込み電圧を有する新しいマイクロミラーの設計

Novel micromirror design with variable pull-in voltage

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巻： 87 号： 5-8 ページ： 1248-1252 発行年： 2010年05月
JST資料番号： C0406B ISSN： 0167-9317 CODEN： MIENEF 資料種別：逐次刊行物 (A)
発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

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