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J-GLOBAL ID：201102214995572524   整理番号：11A0598539

大気圧直流コロナ・マイクロ放電における第三電極による制御

Control of Atmospheric Pressure DC Corona Microdischarge by a Third-electrode

著者 (4件)： 大塚朋永 (東京工業大学大学院理工学研究科) ,  川瀬正巳 (東京工業大学大学院理工学研究科) ,  井深真治 (東京工業大学大学院理工学研究科) ,  石井彰三 (東京工業大学大学院理工学研究科)
資料名： 電気学会論文誌 A  (IEEJ Transactions on Fundamentals and Materials)
巻： 131  号： 3  ページ： 164-170 (J-STAGE)  発行年： 2011年 
JST資料番号： S0808A  ISSN： 0385-4205  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 寸法がマイクロメートルオーダであるマイクロ放電では,「必要な所に必要な大きさで必要な特性を持ったプラズマ」を生成できることから,これを用いたプラズマ源が盛んに研究されている。本論文では,まず,ノズル電極とホロー電極間に直流電圧を印加する基本的構造により大気圧直流コロナ・マイクロ放電を生成し,その特性を示した。次に,従来のコロナ放電の分野で用いられていたノズル電極と平板電極の構成として,その中間の位置にホロー電極を配置し,その位置や穴径,電位を変化させると,正ストリーマコロナ放電を制御できることを明らかにした。この第三の電極を導入したコロナ放電の制御は効果的であり,多岐にわたり応用可能である。

シソーラス用語： *コロナ放電 ,  *気体放電 ,  電極 ,  制御方式 ,  直流電圧 ,  *マイクロ放電 ,  電極構造 ,  マイクロプラズマ
準シソーラス用語： ストリーマ放電 ,  大気圧

分類 (1件)： 気体放電  (BJ03020T)

引用文献 (20件)：

• 橘邦英. マイクロプラズマ基礎と応用. 2009
• LAROUSSI, M. Arc-free atmospheric pressure cold plasma jets : A review. Plasma Processes & Polymers. 2007, 4, 9, 777-788
• WELTMANN, K.-C. Antimicrobial treatment of heat sensitive products by Miniaturized atmospheric pressure plasma jets (APPJ). J. Phys. D : Appl. Phys. 2008, 41, 194008
• ITO, Y. Study of plasma enhanced chemical vapor deposition of ZnO films by non-thermal plasma jet at atmospheric pressure. Thin Solid Films. 2010, 518, 3513-3516
• BAYLISS, D. L. Reduction and degradation of amyloid aggregates by a pulsed radio-frequency cold atmospheric plasma jet. New Journal Phys. 2009, 11, 115024

タイトルに関連する用語 (2件)： 大気圧 ,  マイクロ放電