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J-GLOBAL ID：201102217845106770   整理番号：11A1208386

マイクロデバイスパッケージング用マイクロカンチレバーの光熱励起と干渉検出に基づく圧力測定

Pressure Measurement Based on Photothermal Excitation and Interferometric Detection of Micro-cantilevers for Micro-device Packaging

著者 (4件)： YAMAMOTO S. (Univ. of Tokyo, Tokyo, JPN) ,  HIGURASHI E. (Univ. of Tokyo) ,  SUGA T. (Univ. of Tokyo, Tokyo, JPN) ,  SAWADA R. (Kyushu Univ.)
資料名： International Conference on Electronics Packaging (CD-ROM)  (International Conference on Electronics Packaging (CD-ROM))
巻： 2010  ページ： ROMBUNNO.FC1-2  発行年： 2010年05月12日 
JST資料番号： L6010B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： 固体素子 ,  *マイクロマシニング ,  気密性 ,  片持梁 ,  光ポンピング ,  干渉測定 ,  圧力センサ ,  *圧力測定
準シソーラス用語： *カンチレバー ,  マイクロデバイス ,  光励起 ,  密封性

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器  (AD05050V)

タイトルに関連する用語 (4件)： マイクロカンチレバー ,  励起 ,  干渉 ,  圧力測定