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J-GLOBAL ID：201102222650899086   整理番号：11A0560500

X線回折による1〈111〉表面模様付き立方晶TiN多結晶薄膜における二軸応力成分および単位格子パラメータの最小二乗補正

Least-squares refinement of biaxial stress components and unit-cell parameter in a 〈111〉 textured cubic TiN polycrystalline thin film by X-ray diffraction

著者 (3件)： YOKOYAMA Ryouichi (Rigaku Corp., Tokyo, JPN) ,  HARADA Jimpei (Rigaku Corp., Tokyo, JPN) ,  AKINIWA Yoshiaki (Yokohama National Univ., Yokohama, JPN)
資料名： Powder Diffraction  (Powder Diffraction)
巻： 25  号： 1  ページ： 25-30  発行年： 2010年03月 
JST資料番号： T0527A  ISSN： 0885-7156  CODEN： PODIE2  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (9件)： X線回折 ,  模様 ,  立方晶 ,  TiN ,  多結晶薄膜 ,  二軸 ,  単位格子 ,  パラメータ ,  最小二乗