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J-GLOBAL ID:201102224894121101   整理番号:11A0534048

RFプラズマ反応で蒸着した熱応答膜の製造,及び,特性化

Fabrication and Characterization of Thermoresponsive Films Deposited by an RF Plasma Reactor
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巻:号: 12  ページ: 992-1000  発行年: 2010年12月20日 
JST資料番号: W1950A  ISSN: 1612-8850  資料種別: 逐次刊行物 (A)
発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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