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J-GLOBAL ID：201102224924593747   整理番号：11A0934050

自動化した高精度連続薄切装置を用いた3次元顕微鏡元素解析

Three-Dimensional Microscopic Elemental Analysis Using an Automated High-Precision Serial Sectioning System

著者 (15件)： FUJISAKI Kazuhiro (Hokkaido Univ., Sapporo, JPN) ,  FUJISAKI Kazuhiro (RIKEN, Saitama, JPN) ,  YOKOTA Hideo (Hokkaido Univ., Sapporo, JPN) ,  YOKOTA Hideo (RIKEN, Saitama, JPN) ,  FURUSHIRO Naomichi (RIKEN, Saitama, JPN) ,  FURUSHIRO Naomichi (Kansai Univ., Osaka, JPN) ,  KOMATANI Shintaro (Horiba, Ltd., Kyoto, JPN) ,  OHZAWA Sumito (Horiba, Ltd., Kyoto, JPN) ,  SATO Yoshimichi (Horiba, Ltd., Kyoto, JPN) ,  MATSUNAGA Daisuke (Horiba, Ltd., Kyoto, JPN) ,  HIMENO Ryutaro (RIKEN, Saitama, JPN) ,  HIGUCHI Toshiro (RIKEN, Saitama, JPN) ,  HIGUCHI Toshiro (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  MAKINOUCHI Akitake (Hokkaido Univ., Sapporo, JPN) ,  MAKINOUCHI Akitake (RIKEN, Saitama, JPN)
資料名： Microscopy and Microanalysis  (Microscopy and Microanalysis)
巻： 17  号： 2  ページ： 246-251  発行年： 2011年04月 
JST資料番号： W1587A  ISSN： 1431-9276  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 工業材料の顕微鏡レベルでの元素組成や形状の把握は破壊解析に重要で,ここでは内部構造を観察するため3次元的に微視的元素解析を行う連続薄切り技術に基づいた装置を開発した。高精度なミリング機械と蛍光X線解析装置を備えた3D元素マッピング装置である。ミリング機械上での精細な位置決めと同期させたデータ入出力システムからX線観測システムへ制御信号が自動的に送られる仕組みである。作製される3Dモデルの分解能と精度を確認するため複合試料を用いて評価した。3種の0.5mm直径の金属ワイヤを金属管に入れた単一ねじれワイヤに組み込んで,管はエポキシ樹脂ないしSnで充填している。ミリング機械により鏡面仕上げの断面試料をつくり,その元素分析を行った。最終的に観測して形成した3D像には明瞭なねじれワイヤ構造が再現できた。システムの概要と実験手順も詳しく述べ,本装置で材料内の3次元元素組成構造や組成元素同定など自動的に実施できる。

シソーラス用語： *自動化 ,  *顕微鏡観察 ,  *試料調製 ,  *試験片 ,  元素 ,  *分布 ,  蛍光X線分析 ,  製粉 ,  鏡面仕上 ,  三次元 ,  断面
準シソーラス用語： *元素分布 ,  ミリング

分類 (1件)： 試料技術  (BA02070O)

タイトルに関連する用語 (6件)： 自動化 ,  薄切 ,  3次元 ,  顕微鏡 ,  元素 ,  解析