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J-GLOBAL ID：201102224992683487   整理番号：11A0604674

レーザー援用インクジェット技術の開発-高スループットとファイン化の両立を目指した配線技術-

著者 (2件)： 遠藤聡人 (産業技術総合研 先進製造プロセス研究部門) ,  明渡純 (産業技術総合研 先進製造プロセス研究部門)
資料名： Synthesiology  (Synthesiology)
巻： 4  号： 1  ページ： 1-10  発行年： 2011年02月 
JST資料番号： L6839A  ISSN： 1882-6229  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ミニマルマニュファクチャリングのコンセプトのもと,実用的な微細インクジェット配線の実現に向けた研究過程を報告した。配線描画速度低下の原因となるインクの濡れ広がり,濡れ広がり抑制手段としてレーザエネルギーを用いた乾燥方法,技術開発目標の設定,レーザ援用インクジェット技術の効果について論じた。液滴直径以下の配線幅を持つ配線が形成されるメカニズム,及び配線の高アスペクト比が実現される原理が解明されていない。一層の高性能化を目指すためには,現象を解明する基礎研究が必要である。

シソーラス用語： *インクジェット印刷 ,  *スループット ,  *微細加工 ,  原価 ,  プリント配線 ,  レーザ照射 ,  レーザ加熱 ,  炭酸ガスレーザ ,  アスペクト比
準シソーラス用語： *ハイスループット ,  低コスト

分類 (1件)： プリント回路  (NA05040O)

引用文献 (12件)：

• [1]明渡純, 中野禅, 朴載赫, 馬場創, 芦田極: エアロゾルデポジション法—高機能部品の低コスト化、省エネ製造への取り組み—, Synthesiology, 1 (2), 130-138 (2008).
• [2]菅沼克昭, 棚網宏: プリンテッド・エレクトロニクス技術, 工業調査会 (2009).
• [3]J. Kolbe, A. Arp, F. Calderone, E. M. Meyer, W. Meyer, H. Schaefer and M. Stuve: Inkjettable conductive adhesive for use in microelectronics and microsystems technology, Microelectronics Reliability, 47, 331-334 (2007).
• [4](独)新エネルギー・産業技術総合開発機構: 精密部材成形用材料創製・加工プロセス技術に関する調査成果報告書 (2005).
• [5]H. Sirringhaus, T. Kawase, R. H. Friend, T. Shimoda, M. Inbasekaran, W. Wu and E. P. Woo. : High-resolution inkjet printing of all-polymer transistor circuits, Science, 290 (5499), 2123-2126 (2000).

タイトルに関連する用語 (5件)： レーザー ,  援用 ,  開発 ,  高スループット ,  ファイン化