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J-GLOBAL ID：200902239415936871   整理番号：08A0492479

エアロゾルデポジション法-高機能部品の低コスト,省エネ製造への取り組み-

著者 (5件)： 明渡純 (産業技術総合研 先進製造プロセス研究部門) ,  中野禅 (産業技術総合研 先進製造プロセス研究部門) ,  PARK J. (産業技術総合研 先進製造プロセス研究部門) ,  馬場創 (産業技術総合研 先進製造プロセス研究部門) ,  芦田極 (産業技術総合研 先進製造プロセス研究部門)
資料名： Synthesiology  (Synthesiology)
巻： 1  号： 2  ページ： 130-138  発行年： 2008年04月 
JST資料番号： L6839A  ISSN： 1882-6229  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： エアロゾルデポジション(AD)法をベースとしたオンデマンド製造プロセス実現の可能性を検討した。AD法は,あらかじめ他の手法で準備された微粒子,超微粒子原料をガスと混合してエアロゾル化し,ノズルを通して基板に噴射して被膜を形成する技術である。従来薄膜プロセスと比較したAD法の特徴を述べ,その省エネルギー効果を示した。また,静電チャック製造工程におけるAD法導入の省エネルギー効果を解説した。MEMS光スキャナーへの適用における低コスト・省エネ化の可能性を,Si-MEMSスキャナーへの適用と工程の単純化とメタルベースMEMSスキャナーへの展開とデバイス設計への反映と多品種・変量製造システムへの適用を述べることにより,解説した。

シソーラス用語： *エアロゾル ,  *微粒子 ,  *噴射 ,  被覆 ,  *薄膜成長 ,  省エネルギー ,  *MEMS ,  *走査装置
準シソーラス用語： スキャナ

分類 (1件)： 特殊加工  (QC04000Y)

引用文献 (9件)：

• [1] 日経ものづくり編集部:部品実装にもセル方式,日経ものづくり 2007年1月号,日経BP社,93(2007).
• [2] 明渡純,M. Lebedev:微粒子,超微粒子の衝突固化現象を用いたセラミックス薄膜形成技術-エアロゾルデポジション法による低温・高速コーティング-,まてりあ,41(7), 459-466 (2002).
• [3] J. Akedo: Aerosol deposition of ceramic thick films at room temperature: Densification mechanism of ceramic layers, J. Am. Ceram. Soc., 89 (6), 1834-1839 (2006).
• [4] <i>新エネルギー・産業技術総合開発機構「ナノレベル電子セラミックス材料低温成形・集積化技術」第2回プロジェクトワークショップ講演資料</i>,新エネルギー・産業技術総合開発機構&製造科学技術センター(2007).
• [5] 新エネルギー・産業技術総合開発機構:平成16年度NEDOエネルギー使用合理化技術戦略的開発/エネルギー有効利用基盤技術先導研究開発「衝撃結合効果を利用した窯業プロセスのエネルギー合理化技術に関する研究開発」プロジェクト成果報告書(2005).

タイトルに関連する用語 (3件)： エアロゾルデポジション法 ,  機能部品 ,  省エネ