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J-GLOBAL ID：201102229214862821   整理番号：11A1335898

改良型微分干渉コントラスト顕微鏡による超平坦Si(100)面上の単一原子ステップの可視化

Visualization of Single Atomic Steps on An Ultra-Flat Si(100) Surface by Advanced Differential Interference Contrast Microscopy

著者 (11件)： KOBAYASHI Shin-Ichiro (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  KIM Youn-Geun (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  WEN Rui (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  YASUDA Kohei (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  FUKIDOME Hirokazu (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  SUWA Tomoyuki (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  KURODA Rihito (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  LI Xiang (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  TERAMOTO Akinobu (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  OHMI Tadahiro (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  ITAYA Kingo (Tohoku Univ., Sendai, JPN)
資料名： Electrochemical and Solid-State Letters  (Electrochemical and Solid-State Letters)
巻： 14  号： 9  ページ： H351-H353  発行年： 2011年 
JST資料番号： W1290A  ISSN： 1099-0062  CODEN： ESLEF6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： レーザ共焦点顕微鏡と改良型微分干渉コントラスト顕微鏡を組合せて空気中でSi(100)面上の高さ0.14nmの単一原子ステップを検知した。この方法は数秒以内,100μm²以上の広い範囲でイメージを得ることができる。電解質溶液中でも単一原子ステップが可視化でき,Si面上の化学的及び電気化学的エッチングの動的過程の観察に応用できる。

シソーラス用語： *干渉顕微鏡 ,  コントラスト ,  *共焦点顕微鏡 ,  ケイ素 ,  *表面ステップ ,  *可視化 ,  *微分干渉顕微鏡
準シソーラス用語： シリコン

分類 (3件)： 半導体の表面構造  (BK15030A) ,  無機化合物一般及び元素  (CD01010D) ,  物理化学一般その他  (CB01030T)

タイトルに関連する用語 (8件)： 微分 ,  干渉 ,  コントラスト ,  顕微鏡 ,  平坦 ,  Si ,  単一原子 ,  可視化