寺本章伸

テラモトアキノブ | Teramoto Akinobu

所属機関・部署：
職名：教授
その他の所属（所属・部署名・職名） (1件)：

東北大学未来科学技術共同研究センター客員教授

ホームページURL (2件)： http://www.rnbs.hiroshima-u.ac.jp/ , http://db.tohoku.ac.jp/whois/e_detail/1ec59f4a457a70c4acac497220c05f5b.html

研究分野 (2件)：電子デバイス、電子機器 , 電気電子材料工学

研究キーワード (3件)：絶縁膜 , プロセス , 半導体

競争的資金等の研究課題 (11件)：

2018 - 2019 超微細半導体用革新的ウェットプロセス・装置技術の開発
2016 - 信頼性、再現性の高い酸化膜形成技術開発とその手法を基礎とした閾値変動のないノーマリオフゲート構造の形成方法の構築
2008 - 2013 超高性能半導体集積回路製造技術の研究開発
2007 - 2009 超高感度・高分解能界面分析によるゲート絶縁膜/シリコン酸化膜の界面構造の決定
2006 - 2009 超高速・超低消費電力バランスドフルCMOSシステムLSIの研究

全件表示

論文 (395件)：

Tetsuya Goto, Yoshinobu Shiba, Akinobu Teramoto, Yukio Kishi, Shigetoshi Sugawa. Effect of charge-up of surfaces of sintered Y<sub>2</sub>O<sub>3</sub> and yttrium oxyfluoride on their erosion rates due to ion bombardment. Journal of Vacuum Science & Technology B. 2022. 40. 6. 062205-062205
Takezo Mawaki, Akinobu Teramoto, Katsutoshi Ishii, Yoshinobu Shiba, Rihito Kuroda, Tomoyuki Suwa, Shuji Azumo, Akira Shimizu, Kota Umezawa, Yasuyuki Shirai, et al. Adsorption and surface reaction of isopropyl alcohol on SiO2 surfaces. JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A. 2022. 40. 5
Koga Saito, Hayato Suzuki, Hyeonwoo Park, Rihito Kuroda, Akinobu Teramoto, Tomoyuki Suwa, Shigetoshi Sugawa. A high-precision current measurement platform applied for statistical measurement of discharge current transient spectroscopy of traps in SiN dielectrics. Japanese Journal of Applied Physics. 2021. 60. 8. 086501-086501
Hsin Jyun Lin, Hiroshi Watanabe, Akinobu Teramoto, Rihito Kuroda, Kota Umezawa, Kiichi Furukawa, Shigetoshi Sugawa. Impact on the Conductance Method of the Asymmetry in the AC Response Induced by Interface Trap Levels. ECS Journal of Solid State Science and Technology. 2021. 10. 4
Takezo Mawaki, Akinobu Teramoto, Katsutoshi Ishii, Yoshinobu Shiba, Rihito Kuroda, Tomoyuki Suwa, Shuji Azumo, Akira Shimizu, Kota Umezawa, Yasuyuki Shirai, et al. Modification of copper and copper oxide surface states due to isopropyl alcohol treatment toward area-selective processes. Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films. 2021. 39. 1

MISC (91件)：

齊藤宏河, 鈴木達彦, 光田薫未, 間脇武蔵, 間脇武蔵, 諏訪智之, 寺本章伸, 寺本章伸, 須川成利, 黒田理人, et al. インピーダンス計測プラットフォーム技術を用いた機能性薄膜に関する電気的特性の統計的計測. 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM). 2023. 84th
間脇武蔵, 寺本章伸, 石井勝利, 志波良信, 諏訪智之, 東雲秀司, 清水亮, 梅澤好太, 黒田理人, 白井泰雪, et al. IPAを用いた銅・酸化銅上の表面改質. 電子情報通信学会技術研究報告(Web). 2021. 121. 71(SDM2021 22-29)
南雲謙志, 木本大幾, 諏訪智之, 寺本章伸, 白田理一郎, 高谷信一郎, 黒田理人, 須川成利. 注入ゲート導入型ノーマリオフFloating Gate GaN HEMTの動作原理と構造 (電子デバイス). 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報. 2020. 119. 408. 55-58
南雲謙志, 木本大幾, 諏訪智之, 寺本章伸, 白田理一郎, 高谷信一郎, 黒田理人, 須川成利. 注入ゲート導入型ノーマリオフFloating Gate GaN HEMTの動作原理と構造 (マイクロ波). 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報. 2020. 119. 409. 55-58
鈴木勇人, PARK Hyeonwoo, 寺本章伸, 寺本章伸, 黒田理人, 黒田理人, 諏訪智之, 須川成利, 須川成利. 高精度電流計測アレイテスト回路を用いたMIM素子の大規模測定. 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM). 2020. 67th

特許 (157件)：

書籍 (5件)：

Different Types of Field-Effect Transistors - Theory and Applications
InTech 2017
dvances in Noise Analysis, Mitigation and Control
InTech 2016
Advanced Gate Stacks for High-Mobility Semiconductors
Springer 2007
Scientific Wet Process Technology for Innovative LSI/FPD Manufacturing
Taylor & Francis 2006
表面・界面工学大系基礎編上巻
フジ・テクノシステム 2005 ISBN:4938555956

講演・口頭発表等 (367件)：

SiNx Deposition at Low Temperature Using UV-Irradiated NH3
(235th ECS Meeting 2019)
Impact of Y-O-F Composition in Yttrium Oxyfluoride on Corrosion Resistance to Plasma Irradiation
(5th Annual World Congress of Smart Materials 2019)
An Electrical Impedance Biosensor Array for Tracking Moving Cells
(IEEE SENSORS 2018)
Corrosion Resistance to F and Cl plasma of Yttrium Oxyfluoride (YOF) formed by Sintering
(AVS 65th International Symposium 2018)
Effects of Process Gases and Gate TiN Electrode during the Post Deposition Anneal to ALD-Al2O3 Dielectric Film
(VS 65th International Symposium 2018)

学歴 (3件)：

2000 - 2001 東北大学大学院工学研究科電子工学専攻
1990 - 1992 東北大学大学院工学研究科電子工学専攻
1986 - 1990 東北大学工学部電子工学科

学位 (3件)：

博士(工学) (東北大学)
修士(工学) (東北大学)
学士(工学) (東北大学)

経歴 (6件)：

2019/06 - 現在東北大学未来科学技術共同研究センター客員教授
2019/06 - 現在広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所教授
2014/07 - 2019/05 東北大学未来科学技術共同研究センター教授
2007/04 - 2014/06 東北大学未来科学技術共同研究センター准教授
2002/04 - 2007/03 東北大学未来科学技術研究センター助教授

全件表示

委員歴 (7件)：

2018/11 - 現在 2019 International Workshop on DIELECTRIC THIN FILMS FOR FUTURE ULSI DEVICES: SCIENCE AND TECHNOLOGY Program Committee
2016/04 - 現在電子デバイス界面テクノロジー研究会実行・プログラム委員
2019/07 - 2020/03 応用物理学会中国四国支部幹事
2019/07 - 2019/12 応用物理学会先進パワー半導体分科会先進パワー半導体分科会第6回講演会実行委員
2004/07 - 2015/03 応用物理学会ゲートスタック研究会実行・プログラム委員

全件表示

受賞 (2件)：

2014/09 - 応用物理学会優秀論文賞 Chemical Structure of Interfacial Transition Layer Formed on Si(100) and Its Dependence on Oxidation Temperature, Annealing in Forming Gas, and Difference in Oxidizing Species
2008/10 - 日本真空協会日本真空協会第33回熊谷記念真空科学論文賞 X-ray Photoelectron Spectroscopic Study of Nitrogen Depth Profile in Radical Nitrided Silicon Oxynitride Film

所属学会 (6件)：

The Electrochemical Society , 電子情報通信学会 , IEEE , 応用物理学会 , 日本表面真空学会 , American Vacuum Society

※　J-GLOBALの研究者情報は、researchmapの登録情報に基づき表示しています。登録・更新については、こちらをご覧ください。

前のページに戻る

寺本 章伸

寺本章伸