文献

J-GLOBAL ID：201102233593433212   整理番号：11A1246689

DCプラズマイオン化沈積で調製したダイヤモンド状炭素系二重膜の摩擦性

Tribological Characteristics of Diamond-Like Carbon Based Double-Layers Film Prepared by DC-Plasma Ionization Deposition

著者 (5件)： MANO Tsuyoshi (Shizuoka Prefectural Government, Shizuoka, JPN) ,  TANAKA Shogo (Shizuoka Prefectural Government, Shizuoka, JPN) ,  TAKAGI Makoto (Shizuoka Prefectural Government, Shizuoka, JPN) ,  SUGIYAMA Osamu (Shizuoka Prefectural Government, Shizuoka, JPN) ,  TAKAI Osamu (Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
資料名： Journal of Photopolymer Science and Technology  (Journal of Photopolymer Science and Technology)
巻： 24  号： 4  ページ： 463-466  発行年： 2011年 
JST資料番号： L0202A  ISSN： 0914-9244  CODEN： JSTEEW  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ダイアモンド状炭素(DLC)膜は高い硬度,コロージョン安定性,疲労強度を持つことで知られているがある型の基質には接着力が低くその利用が妨げられている。基質上に直接ベンゼンガスをDCプラズマイオン化沈積させた単層構造ダイヤモンド状炭素(モノリシックDLC膜:sl-DLC)とベンゼン/ヘキサメチルジシロキサン混合ガスをステップ状に導入した二重層構造(DLC/GCL)を調製した。DLC上層と組成変化したSi/C層からなるDLC/GCLではsl-DLCに比べ内部応力が緩和され,優れた耐摩耗性を示した。

シソーラス用語： *ダイヤモンド状炭素 ,  化学組成 ,  *二分子層 ,  摩耗 ,  *耐摩耗性 ,  内部応力 ,  プラズマ処理 ,  Ramanスペクトル ,  芳香族炭化水素
準シソーラス用語： ガス組成 ,  単分子膜 ,  二分子膜

分類 (2件)： 固体の機械的性質一般  (BL01021C) ,  無機化合物一般及び元素  (CD01010D)

物質索引 (2件)： ヘキサメチルジシロキサン ,  ベンゼン

引用文献 (14件)：

• 1. D. R. McKenzie, Rep. Prog. Phys., 59 (1996) 1611.
• 2. J. Robertson, Prog. Solid Chem., 21 (1991) 199.
• 3. H. Liu, A. Tanaka, K. Umeda, Thin Solid Films, 346 (1999) 162.
• 4. J. Robertson, Diamond Relat. Mater., 2 (1993) 984.
• 5. K. J. Clay, S. P. Speakman, N. A. Morrison, N. Tomozeiu, W. I. Milne, A. Kapoor, Diamond. Relat. Mater., 7 (1998) 1100.

タイトルに関連する用語 (5件)： DCプラズマ ,  イオン化 ,  調製 ,  ダイヤモンド状炭素 ,  摩擦