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J-GLOBAL ID：201102234987386593   整理番号：11A1569206

表面ゾル-ゲル法によるAl基板上への誘電体TiO₂超薄膜の形成

著者 (5件)： 三澤貴浩 (北大 大学院) ,  幅崎浩樹 (北大 大学院) ,  青木芳尚 (北大 大学院) ,  辻悦司 (北大 大学院) ,  小野昭二 (日本ケミコン)
資料名： 電気化学秋季大会講演要旨集  (電気化学合同秋季大会講演要旨集)
巻： 2011  ページ： 197  発行年： 2011年09月09日 
JST資料番号： X0038A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *電解コンデンサ ,  *酸化膜 ,  誘電材料 ,  電気化学インピーダンス ,  *酸化チタン ,  *ゾル-ゲル法 ,  交流インピーダンス法 ,  *化成皮膜

分類 (4件)： 静電機器  (NB10020R) ,  LCR部品  (NA05030D) ,  電気化学一般  (CB07010N) ,  コロイド化学一般  (CB11010C)

タイトルに関連する用語 (5件)： ゾル-ゲル法 ,  Al ,  誘電体 ,  TiO2 ,  超薄膜