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J-GLOBAL ID:201102235267603216   整理番号:11A0608654

電磁アクチュエータを用いた顕微作業用薄型精密ステージの開発

Development of Flat Microscope Stage Constructed of Electromagnetic Actuator
著者 (3件):
資料名:
巻: 46  号:ページ: 170-173  発行年: 2011年03月05日 
JST資料番号: S0898A  ISSN: 0919-2948  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 解説  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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顕微作業に導入することを目的として,操作者の作業空間を確保するために薄型化した精密ステージを開発したのでその概要を紹介した。具体的には,アクチュエータと精密ステージについて概説し,開発した薄型3自由度精密ステージに関して解説した。すなわち,ステージの外観と動作原理,ステージの可動範囲,ステージの周波数特性,ステージの位置決め性能について概説した。
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