文献
J-GLOBAL ID:201102235439797255
整理番号:11A0474083
ミクロ機械構造のためのエポクラッド(Epoclad)ネガフォトレジストのダイナミック熱機械的評価
Dynamic thermal mechanical characterization of Epoclad negative photoresist for micro mechanical structures
-
出版者サイト
複写サービスで全文入手
{{ this.onShowCLink("http://jdream3.com/copy/?sid=JGLOBAL&noSystem=1&documentNoArray=11A0474083©=1") }}
-
高度な検索・分析はJDreamⅢで
{{ this.onShowJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=11A0474083&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=C0406B") }}