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J-GLOBAL ID：201102236039211606   整理番号：11A0799860

980nmにおける波長安定化に関する内表面Bragg格子をもつ広面積レーザ

Broad-Area Lasers with internal surface Bragg gratings for wavelength stabilization at 980nm

著者 (9件)： FRICKE J. (Leibniz Inst. Hoechstfrequenztechnik, Berlin) ,  BUGGE F. (Leibniz Inst. Hoechstfrequenztechnik, Berlin) ,  GINOLAS A. (Leibniz Inst. Hoechstfrequenztechnik, Berlin) ,  JOHN W. (Leibniz Inst. Hoechstfrequenztechnik, Berlin) ,  KLEHR A. (Leibniz Inst. Hoechstfrequenztechnik, Berlin) ,  MATALLA M. (Leibniz Inst. Hoechstfrequenztechnik, Berlin) ,  RESSEL P. (Leibniz Inst. Hoechstfrequenztechnik, Berlin) ,  WENZEL H. (Leibniz Inst. Hoechstfrequenztechnik, Berlin) ,  ERBERT G. (Leibniz Inst. Hoechstfrequenztechnik, Berlin)
資料名： IEEE International Semiconductor Laser Conference  (IEEE International Semiconductor Laser Conference)
巻： 22nd  ページ： 148-149  発行年： 2010年 
JST資料番号： W1285A  ISSN： 0899-9406  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 波長安定化のために500μm長,5次及び15次表面Bragg格子と組み合わせた,90μmストライプ幅をもつ4mm長広面積レーザを作製した。表面格子を,従来のフォトレジストマスクを用いた(5:1)射影iラインウエハステッパリソグラフィーにより形成した。エッチングを,平行板反応性イオンエッチングシステムにより行った。二つの垂直レーザ構造を研究した。それらは,二重量子井戸をもつ非対称AlGaAs閉込め及びクラッディング層に基づいていた。高次Bragg格子をもつBA-DBRレーザは,もう一つのコスト高率な作製技術を実証した。

シソーラス用語： *DBRレーザ ,  *Bragg反射 ,  *回折格子 ,  レーザ出力 ,  周波数シフト ,  *ファイバレーザ ,  光ポンピング ,  イッテルビウム ,  ドーピング ,  スペクトル線幅 ,  スペクトルシフト ,  埋込み【挿入】 ,  RIE【エッチング】 ,  ステッパ ,  リソグラフィー ,  反射率 ,  *波長 ,  *安定化
準シソーラス用語： 波長シフト

分類 (1件)： 固体レーザ  (BD04080W)

タイトルに関連する用語 (6件)： 波長 ,  安定化 ,  内表面 ,  Bragg格子 ,  面積 ,  レーザ