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J-GLOBAL ID:201102236649307842   整理番号:11A0142744

ゴムを用いた電磁アクチュエータによる顕微作業用多自由度精密ステージの開発

Development of Multi-Degrees-of-Freedom Microscope Stage Constructed of Electromagnetic Actuator Using Rubber
著者 (2件):
資料名:
巻: 76  号: 772  ページ: 3672-3679  発行年: 2010年12月25日 
JST資料番号: F0045B  ISSN: 0387-5024  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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ゴム,永久磁石および電磁石から構成される精密アクチュエータ(REアクチュエータ)を提案した。電磁石の一端を駆動部,他端を密閉する一端駆動型REアクチュエータと電磁石の両端に駆動部を配置する両端駆動型REを開発して基本特性を調べた。とくにストローク/全長比は6667ppmを示し,大変位が得られることで知られている超磁歪アクチュエータの3倍を超えることを確認した。さらに,これらのREアクチュエータを用いて一体型多自由度精密ステージを構成し,既存の光学顕微鏡を実装することで顕微作業用ステージとしての有効性を確認した。(著者抄録)
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