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J-GLOBAL ID：201102239296768939   整理番号：11A1499811

自己整合性マイクロメカニクスモデルに基づく等方性ポリシリコンの圧電抵抗特性の解析

Analysis of the piezoresistive properties of isotropic polysilicon based on a self-consistent micromechanics model

著者 (2件)： MATSUZUKA Naoki (Ritsumeikan Univ., Shiga, JPN) ,  TORIYAMA Toshiyuki (Ritsumeikan Univ., Shiga, JPN)
資料名： Smart Materials and Structures  (Smart Materials and Structures)
巻： 20  号： 8  ページ： 085018,1-8  発行年： 2011年08月 
JST資料番号： W0480A  ISSN： 0964-1726  CODEN： SMSTER  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ポリシリコンの局部歪・応力の影響を反映した微視力学モデルに基づく等方多結晶ケイ素の圧電抵抗の解析法を示した。ポリシリコンが方位が不規則で粒界の圧電抵抗が無視できない球状の単結晶と仮定した。解析により,単結晶ケイ素の弾性・圧電抵抗特性とポリシリコンに対する単結晶ケイ素の抵抗比から圧電抵抗係数を導いた。その結果をこれまでの実験結果と比較したところ良く合った。そのため,提案した解析法は適用が可能である。

シソーラス用語： *微視力学 ,  *ポリシリコン ,  *ケイ素
準シソーラス用語： *圧電抵抗 ,  *単結晶シリコン

分類 (1件)： 高分子固体の物理的性質  (CG02024U)

タイトルに関連する用語 (8件)： 自己整合 ,  マイクロメカニクス ,  モデル ,  等方性 ,  ポリシリコン ,  圧電 ,  抵抗特性 ,  解析