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J-GLOBAL ID:201102239881359459   整理番号:11A0104652

低電流電気接点応用のためのカーボンナノチューブ曲面

Carbon-nano tube surfaces for low current electrical contact applications
著者 (3件):
資料名:
巻: 110  号: 270(EMD2010 67-128)  ページ: 53-56  発行年: 2010年11月04日 
JST資料番号: S0532B  ISSN: 0913-5685  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
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金めっきを施した多層カーボンナイーブ(CNT)表面の実験的調査を行い,電気接点としてのこれら表面の限界を決定した。その負荷条件はMEMSリレー応用にとって代表的なものであり,即ち,1mNの適用力を持つ(4V,1-10mA)であった。これらの条件に対し,その表面は106スイッチングサイクル上で安定した接点抵抗を維持することを示した。限界を決定するために,ドライ回路条件下における3mNに向けて接触力を増大し,電流は1mN接触力に対して20mA~50mAに増大させた。規範Au-Au接触面と接触抵抗および表面劣化の比較を行った。ここで調べた被覆MWCNT表面に対し,電流負荷限界は,20mAであることを決定し,その場合,70×106サイクルの後の増大した接触抵抗とともに接触故障が発生した。(翻訳著者抄録)
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分類 (2件):
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固体デバイス製造技術一般  ,  電気接点 
引用文献 (9件):
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