LI Weilong について
Microwave Devices and Integrated Circuits Dep., Inst. of Microelectronics, Chinese Acad. of Sciences, Beijing 100029 ... について
JIA Rui について
Microwave Devices and Integrated Circuits Dep., Inst. of Microelectronics, Chinese Acad. of Sciences, Beijing 100029 ... について
CHEN Chen について
Microwave Devices and Integrated Circuits Dep., Inst. of Microelectronics, Chinese Acad. of Sciences, Beijing 100029 ... について
LI Haofeng について
Microwave Devices and Integrated Circuits Dep., Inst. of Microelectronics, Chinese Acad. of Sciences, Beijing 100029 ... について
LIU Xinyu について
Microwave Devices and Integrated Circuits Dep., Inst. of Microelectronics, Chinese Acad. of Sciences, Beijing 100029 ... について
YUE Huihui について
Microwave Devices and Integrated Circuits Dep., Inst. of Microelectronics, Chinese Acad. of Sciences, Beijing 100029 ... について
DING Wuchang について
Microwave Devices and Integrated Circuits Dep., Inst. of Microelectronics, Chinese Acad. of Sciences, Beijing 100029 ... について
YE Tianchun について
Microwave Devices and Integrated Circuits Dep., Inst. of Microelectronics, Chinese Acad. of Sciences, Beijing 100029 ... について
KASAI Seiya について
Res. Center for Integrated Quantum Electronics, Hokkaido Univ., North 13, West 8, Kita-ku, Sapporo 060-8628, JPN について
HASHIZUME Tamotsu について
Res. Center for Integrated Quantum Electronics, Hokkaido Univ., North 13, West 8, Kita-ku, Sapporo 060-8628, JPN について
WU Nanjian について
The State Key Lab. for Superlattices and Microstructures, Inst. of Semiconductors, Chinese Acad. of Sciences ... について
XU Bingshe について
Coll. of Materials Sci. and Engineering, Taiyuan Univ. of Technol., Taiyuan 030024, CHN について
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena について
酸化ハフニウム について
ナノ結晶 について
誘電体 について
ケイ素 について
帯電 について
電子ビーム蒸着 について
不揮発性メモリ について
含有量 について
電子顕微鏡観察 について
薄膜コンデンサ について
MOS構造 について
電荷蓄積 について
MOSコンデンサ について
半導体集積回路 について
高 について
誘電体 について
HfO2 について
埋込 について
珪素 について
ナノ結晶 について
電荷蓄積 について
応用 について