文献

J-GLOBAL ID：201102244571553542   整理番号：11A0585138

マイクロソリッドジェットによる超高熱流束冷却と新型半導体レジストはく離システムの開発

著者 (2件)： 石本淳 (東北大 流体科研) ,  丹大輔 (東北大 大学院)
資料名： 日本機械学会流体工学部門講演会講演論文集(CD-ROM)
巻： 88th  ページ： ROMBUNNO.511  発行年： 2010年 
JST資料番号： L0394B  ISSN： 1348-2882  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 極低温マイクロソリッド噴霧による超高熱流束効果に関する基礎実験を行い,液体窒素噴霧の1.5倍以上の冷却熱流束を得た。また,熱非平衡二流体噴霧モデルによるCFD解析を行い,マイクロソリッド超高熱流束冷却効果に関する良好な数値予測結果を得た。マイクロソリッド噴霧の衝突による物理力,さらに,超高熱流束急冷による熱収縮,超音波微粒化による氷核生成・固体窒素粒子微粒化の効果を利用することにより,フォトレジストの90%程度をはく離することに成功した。(著者抄録)

シソーラス用語： *窒素 ,  噴流 ,  熱流束 ,  剥離 ,  半導体 ,  *極低温 ,  シミュレーションモデル ,  計算流体力学 ,  フォトレジスト ,  電子冷却 ,  *噴霧冷却 ,  粒子画像流速測定 ,  洗浄
準シソーラス用語： *マイクロソリッド窒素 ,  噴霧モデル

分類 (1件)： 低温工学  (PD05000H)

タイトルに関連する用語 (4件)： 高熱流束 ,  レジスト ,  はく離 ,  開発