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J-GLOBAL ID：201102246636245819   整理番号：11A1050560

高密度アクチュエータアレイによるピエゾ電気MEMS可変形ミラー

PIEZOELECTRIC MEMS DEFORMABLE MIRRORS WITH HIGH-DENSITY ACTUATOR ARRAY

著者 (4件)： SATO M. (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  KANNO I. (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  KOTERA H. (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  TABATA O. (Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
資料名： Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems  (Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems)
巻： 24th Vol.2  ページ： 1265-1268  発行年： 2011年 
JST資料番号： W0377A  ISSN： 1084-6999  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 小型,低価格の可変形ミラー(DM)が適応光学(AO)の分野で要求されている。本稿では,AOによる低電圧で高分解能の網膜結像を達成するために,PZT薄膜により作動する61の六角形アクチュエータから構成したピエゾ電気MEMSを作製した。PZT薄膜はミラー隔膜上に堆積させ,その隔膜は制御電圧を印加することにより変形する。電極とそれに対応する接続パッドの間のリード線のためのデッドスペースを縮小するために,それぞれの電極にスルーホールを有するポリイミド薄膜を用意して,アクチュエータとリード線との間の絶縁層とした。レーザDoppler振動記録計を用いて作製したDMの変形特性を測定した。その結果,変位ヒステリシスもなく,20Vの低電圧で0.23μmの比較的大きなストロークが得られることを確認した。

シソーラス用語： *マイクロアクチュエータ ,  *反射鏡 ,  *効果 ,  適応光学 ,  ジルコニウム酸チタン酸鉛 ,  振動計 ,  特性 ,  レーザDoppler振動計 ,  変形特性 ,  *マイクロミラー ,  *圧電効果
準シソーラス用語： *ミラーアレイ ,  *ピエゾ電気効果 ,  MEMSミラー ,  PZT【鉛化合物】

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  屈折及び反射の測定と装置  (BD07060V)

タイトルに関連する用語 (5件)： アクチュエータ ,  アレイ ,  ピエゾ電気 ,  MEMS ,  可変形ミラー