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J-GLOBAL ID：201102246839199685   整理番号：11A0809784

パラジウムの水素吸蔵時の発熱反応を利用した水素ガスセンサの検討

Investigation on the Hydrogen Gas Sensor Based on Exothermicity Reaction by Hydrogen Absorption into the Pd Film

著者 (2件)： 高嶋徳明 (東北学院大学 工学研究科) ,  木村光照 (東北学院大学 工学研究科)
資料名： 電気学会論文誌 E  (IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines)
巻： 131  号： 4  ページ： 148-153 (J-STAGE)  発行年： 2011年 
JST資料番号： L3098A  ISSN： 1341-8939  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本論文では,パラジウム(Pd)の水素吸蔵時の発熱反応に基く温度変化を,温度差検出法を用いて測定する方法を提案した。また,SOI基板をカンチレバ構造に加工して,その上に熱電対を形成した水素ガスセンサを試作して実験を行った。実験から水素ガス濃度によってセンサから得られる出力が変化することを確認して,提案する方法で水素ガスを検出可能であることを実証した。そして,マイクロヒータをパルス加熱した時の冷却過程での熱時定数が水素ガス濃度に依存することを用いた方法を提案した。

シソーラス用語： *パラジウム ,  *水素吸蔵 ,  *ガスセンサ ,  *水素 ,  発熱 ,  反応熱 ,  MEMS ,  熱電対 ,  SOI構造 ,  片持梁 ,  濃度 ,  水素センサ ,  水素濃度

分類 (1件)： 分析機器  (CC02020S)

引用文献 (8件)：

• SHIN, W. Planar catalytic combustor film for thermoelectric hydrogen sensor. Sensors and Actuators B. 2005, 108, 455-460
• HOULET, L. F. Thermopile sensor-devices for the catalytic detection of hydrogen gas. Sensors and Actuators B. 2008, 130, 200-206
• YOKOSAWA, K. FET hydrogen-gas sensor with direct heating of catalytic metal. Sensors and Actuators B. 2008, 130, 94-99
• YOKOSAWA, K. Prototype system comprising battery-powered sensor nodes and a wireless network for detecting hydrogen leaks. Proc. of the 22nd Sensor Symposium, Tokyo, 2005. 2005, 435-438
• VARIN, R. A. Nanomaterials for Solid State Hydrogen Storage. 2009, 8

タイトルに関連する用語 (5件)： パラジウム ,  水素吸蔵 ,  発熱反応 ,  水素 ,  ガスセンサ