パルス化レーザ蒸着による非晶質基盤における優先配向AIN膜の成長

WANG Z.p.; MORIMOTO A.; KAWAE T.; ITO H.; MASUGATA K.

文献

J-GLOBAL ID：201102249126660632 整理番号：11A1254660

パルス化レーザ蒸着による非晶質基盤における優先配向AIN膜の成長

Growth of preferentially-oriented AlN films on amorphous substrate by pulsed laser deposition

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Physics Letters. A (Physics Letters. A)

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巻： 375 号： 33 ページ： 3007-3011 発行年： 2011年08月01日
JST資料番号： C0600B ISSN： 0375-9601 資料種別：逐次刊行物 (A)
発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

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