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J-GLOBAL ID：201102251427999184   整理番号：11A1114473

ステルスダイシングの加工メカニズム

著者 (2件)： 大村悦二 (大阪大 大学院工学研究科) ,  奥間惇治 (浜松ホトニクス)
資料名： レーザ加工学会講演論文集  (Proceedings of the Laser Materials Processing Conference)
巻： 75th  ページ： 51-57  発行年： 2011年05月 
JST資料番号： L3079A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *レーザ加工 ,  *切削 ,  レーザ切断 ,  温度依存性 ,  温度分布 ,  亀裂伝搬
準シソーラス用語： *ダイシング ,  *ステルスダイシング

分類 (1件)： 特殊加工  (QC04000Y)

タイトルに関連する用語 (2件)： ステルスダイシング ,  メカニズム