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J-GLOBAL ID：201102253003615745   整理番号：11A1827759

微小部蛍光X線分析と元素イメージング

著者 (3件)： 中澤隆 (大阪市大 大学院工学研究科) ,  中野和彦 (財務省) ,  辻幸一 (大阪市大 大学院工学研究科)
資料名： ぶんせき
号： 11  ページ： 654-661  発行年： 2011年11月05日 
JST資料番号： S0128B  ISSN： 0386-2178  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 近年は,機能材料の微細化,ナノ構造化,ナノテクノロジーの進展により,局所分析の重要性が増している。近年のX線光学素子の進展に伴い,実験室においても,10μm程度のX線微細ビームが比較的容易に得られるようになり,これを用いたX線元素イメージングも盛んになりつつある。得られた微細X線ビームを試料の局所に照射することにより微小部蛍光X線分析が可能となる。X線集光技術と周辺技術について解説した。次に,微小部蛍光X線分析と元素イメージングとして,放射光励起微小部蛍光X線分析,封入管X線励起微小部蛍光X線分析,携帯型蛍光X線分析装置と,微小部蛍光X線分析法と他の分析手法との併用について解説した。また,三次元蛍光X線分析について解説した。

シソーラス用語： *蛍光X線分析 ,  *微細構造 ,  *画像処理 ,  *元素 ,  機能材料 ,  精密化 ,  ナノ構造 ,  ナノテクノロジー ,  光学素子 ,  ビーム ,  部分照射 ,  集光 ,  技術 ,  シンクロトロン放射 ,  携帯型 ,  共同利用 ,  三次元
準シソーラス用語： X線ビーム ,  周辺技術

分類 (1件)： その他の物理分析  (CC03014E)

タイトルに関連する用語 (4件)： 微小 ,  蛍光X線分析 ,  元素 ,  イメージング