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J-GLOBAL ID：201102254121522650   整理番号：11A0162007

プラズマおよびウエット化学プロセスによるSU-8の表面親水化

Surface hydrophilization of SU-8 by plasma and wet chemical processes

著者 (9件)： WALTHER Ferdinand (Ludwig-Maximilians-Univ. Muenchen, Munich, DEU) ,  DROBEK Tanja (Ludwig-Maximilians-Univ. Muenchen, Munich, DEU) ,  GIGLER Alexander M. (Ludwig-Maximilians-Univ. Muenchen, Munich, DEU) ,  HENNEMEYER Marc (Ludwig-Maximilians-Univ. Muenchen, Munich, DEU) ,  KAISER Michael (Munich Univ. Applied Sci., Munich, DEU) ,  HERBERG Helmut (Munich Univ. Applied Sci., Munich, DEU) ,  SHIMITSU Tetsuji (Max-Planck-Inst. extraterrestrische Physik, Garching, DEU) ,  MORFILL Gregor E. (Max-Planck-Inst. extraterrestrische Physik, Garching, DEU) ,  STARK Robert W. (Ludwig-Maximilians-Univ. Muenchen, Munich, DEU)
資料名： Surface and Interface Analysis  (Surface and Interface Analysis)
巻： 42  号： 12/13  ページ： 1735-1744  発行年： 2010年12月 
JST資料番号： E0709A  ISSN： 0142-2421  CODEN： SIANDQ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： セリウム硝酸アンモニウム(CAN)を用いたウエット化学エッチングプロセスによる酸素あるいはアルゴンプラズマ処理に基づく表面活性化手段を比較し,SU-8の表面特性へのこれらの表面親水化プロセスの影響をより理解した。表面の親水化および結合性を確認するために,接触角測定および原子間力顕微鏡法(AFM)を用いたトポグラフィー画像化によって分析した。またXPSを用いた表面化学分析をおこない,表面酸化を評価し,処理プロセスによって生成されるセリウムあるいはアンチモン種を調べた。比較した3つのすべての表面改質手段によって,Su-8が親水性となり,表面が酸化された。超音波浴中でのさらなる洗浄ステップによって,親水性は維持されながら表面上でのアンチモンの量が減少された。またポリ(L-リジン)-グラフト-ポリ(エチレングリコール)による被覆によって,いくつかの濡れ/乾燥サイクルに渡りその親水特性を維持する安定な表面が得られた。

シソーラス用語： *プラズマ処理 ,  *湿式法 ,  *フォトレジスト ,  *化学的加工 ,  *表面改質 ,  アンモニウム化合物 ,  硝酸塩 ,  セリウム化合物 ,  エッチング ,  原子間力顕微鏡 ,  トポグラフィー【形態】 ,  親水性 ,  ポリエチレンオキシド ,  ポリリジン ,  X線光電子分光法 ,  *親水化 ,  *フォトレジストSU-8
準シソーラス用語： *SU-8 ,  化学エッチング

分類 (2件)： 固-液界面  (CB12050B) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： プラズマ ,  化学プロセス ,  SU-8 ,  表面親水化