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J-GLOBAL ID：201102258491698745   整理番号：11A1924915

微細加工技術を応用したチップスケール原子磁気センサ用気密封止技術

Sealing technique of potassium vapor cells for chip-scale atomic magnetometer

著者 (5件)： 平井義和 (京大) ,  辻本和也 (京大) ,  菅野公二 (京大) ,  土屋智由 (京大) ,  田畑修 (京大)
資料名： 電気学会電子回路研究会資料  (電気学会研究会資料)
巻： ECT-11  号： 102-112  ページ： 7-11  発行年： 2011年11月21日 
JST資料番号： X0578A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 微弱な磁場を測定する原子磁気センサが注目されているが,Siとガラスの接合層に犠牲マイクロ流路を形成してアルカリ金属と緩衝ガスを気密封止する技術について述べた。犠牲マイクロ流路を用いたガラスフリットリフローによるアルカリ金属セル気密封止プロセスについて述べた。ガラスフリットリフローにおける加熱温度や圧力の最適化を行うために封止実験を実施し,諸特性を明らかにした。気密封止性能の評価として実験方法やその結果,考察を実施した。またアルカリ金属封入セルの作製についても示した。提案手法がアルカリ金属封入セルの作成に適用できることを確認した。

シソーラス用語： *磁気センサ ,  ICパッケージ ,  *ハーメチックシール ,  *微細加工 ,  チャネル ,  MEMS ,  マイクロチャネル
準シソーラス用語： *チップスケールパッケージ ,  マイクロ流路 ,  *原子磁気センサ

分類 (3件)： 磁気の計測法・機器  (AD07060U) ,  発振回路  (NC05020Y) ,  固体デバイス材料  (NC03020K)

引用文献 (18件)：

• (1) I. Kominis, T. Kornack, J. Allred, and M. Romalis "A Subfemtotesla Multichannel Atomic Magnetometer", Nature, Vol. 422, pp.596-599 (2003)
• (2) T. Kobayashi "Ultrahigh Sensitivity Optically Pumped Atomic Maenetometer", 0Y0 BUTURI, Vol.80, pp.211-215 (2011)
• (3) J. Kitching, S. Knappe, V. Shah, P. Schwindt, C. Griffith, R. Jimenez, J. Preusser, L. Liew, and J. Moreland "Microfabricated Atomic Magnetometers and Applications", Proc. of Frequency Control Symposium 2008, pp.789-794 (2008)
• (4) L. Liew, S. Knappe, J. Moreland, H. Robinson, L. Hollberg, and J. Kitching "Micromachined Alkali Atom Vapor Cells for Chip-scale Atomic Clocks", Proc. of MEMS2004, pp.113-116 (2004)
• (5) J. Hitching, S. Knappe, and E. Donley "Atomic Sensors-A Review", IEEE Sensors Journal, Vol. 11, pp.1749-1758 (2011)

タイトルに関連する用語 (6件)： 微細加工技術 ,  応用 ,  スケール ,  原子 ,  磁気センサ ,  気密封止