文献

J-GLOBAL ID：201102260205075145   整理番号：11A1609014

セグメント構造ダイヤモンド状炭素膜を摩擦駆動面に用いた弾性表面波リニアモータ-第7報 犠牲層を用いたS-DLC膜の生成方法-

著者 (6件)： 石川雄也 (埼玉大) ,  中村満 (埼玉大) ,  高崎正也 (埼玉大) ,  高島舞 (東京工大) ,  大竹尚登 (東京工大) ,  水野毅 (埼玉大)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2011  号： 秋季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.J82  発行年： 2011年09月05日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 弾性表面波リニアモータは薄型・高出力などの特長を持った超音波モータである。摩擦駆動という原理の性質上,摩擦駆動面において摩耗が問題となる。これまでに摩耗の改善のために耐摩耗材料であるセグメント構造DLC膜が導入されてきた。しかし,DLC膜のセグメントの形状が問題となり,駆動特性が低下した。そこで,本報では駆動特性を向上させるために新たなセグメント構造DLC膜の成膜方法を提案した。(著者抄録)

シソーラス用語： 層 ,  *DLC膜 ,  *電動機 ,  耐摩耗性 ,  摩擦伝動 ,  リニアモータ
準シソーラス用語： 犠牲層 ,  *弾性表面波モータ

分類 (1件)： 電動機  (NB07030U)

タイトルに関連する用語 (7件)： セグメント ,  ダイヤモンド状炭素 ,  摩擦駆動 ,  弾性表面波 ,  リニアモータ ,  犠牲層 ,  DLC膜