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J-GLOBAL ID：201102263068197717   整理番号：11A1295165

アノード結合した金属ガラス/ケイ酸塩ガラス界面における反応層の形成

Formation of reaction layers at anodically-bonded metallc glass/silicate glass interfaces

著者 (5件)： TAKAHASHI Makoto (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  WATATANI Yuuki (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  IKEUCHI Kenji (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  KIMURA Hisamichi (Tohoku Univ.) ,  INOUE Akihisa (Tohoku Univ.)
資料名： Transactions of JWRI (Joining and Welding Research Institute of Osaka University)  (Transactions of JWRI (Joining and Welding Research Institute of Osaka University))
巻： 39  号： 2  ページ： 226-228  発行年： 2010年12月 
JST資料番号： S0875A  ISSN： 0387-4508  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 金属ガラスを用いたマイクロデバイスを実現するため,ジルコニア基金属ガラスと2種類のケイ酸塩ガラスのアノード結合を試みた。金属ガラスとしてZr₅₅Cu₃₀Al₁₀Ni₅を用い,ケイ酸塩ガラスとしてアルミノケイ酸塩ソーダガラス(Matsunami801)及びソーダ-カリウムガラス(Matsunami7622)を用いた。これらのガラス試料を電極と結合し,結合温度(483~603K)まで加熱した。金属ガラス側をアノードとして500Vの結合電圧を印加し,アノード結合した。TEMを用いて接合界面を観察し,接合プロセスをイオン拡散などから考察した。801ガラスでは電圧印加時間と共に界面での接触面積が増大し,結合温度が高いほど反応が進行した。7622ガラスでは界面に反応生成物が形成され,異なる接合挙動を示した。

シソーラス用語： *金属ガラス ,  *ケイ酸塩ガラス ,  酸化ナトリウム ,  酸化カリウム ,  *アノード酸化 ,  反応生成物 ,  界面 ,  *ジルコニウム合金 ,  銅含有合金 ,  アルミニウム含有合金 ,  ニッケル含有合金 ,  アルミノケイ酸ガラス ,  電圧 ,  イオン拡散
準シソーラス用語： 界面反応 ,  *接合界面

分類 (1件)： 接着  (WC07020V)

タイトルに関連する用語 (5件)： アノード ,  金属ガラス ,  ケイ酸塩ガラス ,  界面 ,  反応層