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J-GLOBAL ID：201102263979911859   整理番号：11A0481841

2次元くし形電極駆動マイクロスキャナの設計,製作および真空動作特性

Design, fabrication and vacuum operation characteristics of two-dimensional comb-drive micro-scanner

著者 (2件)： CHU Hoang Manh (Dep. of Nanomechanics, Tohoku Univ., Sendai 980-8579, JPN) ,  HANE Kazuhiro (Dep. of Nanomechanics, Tohoku Univ., Sendai 980-8579, JPN)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 165  号： 2  ページ： 422-430  発行年： 2011年02月 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 真空中で動作する2次元微小機械くし形電極駆動スキャナの設計,製作,および特性について述べる。シリコン・オン・インシュレータ・ウェハから作られた,斜め静電くし形駆動,およびシリコン導電性V型トーションヒンジを用いて,スキャナは2つの直交軸方向にアクチュエートされる。内部ミラーおよびジンバル枠の共振周波数は,それぞれ40kHzおよび162Hzである。共振周波数比は247である。内部ミラーおよびジンバル枠の光走査角は,1Pa真空中でそれぞれ12および10Vの動作電圧において11.5°および14°である。これらの駆動電圧は,大気中におけるより,それぞれ21および3のファクタで小さい。また,内部ミラーおよびジンバル枠に対する品質係数の圧力依存性を実験的に調べ,空気摩擦モデルに基づく理論計算と比較する。Copyright 2011 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *走査装置 ,  電極 ,  ヒンジ ,  共振周波数 ,  *マイクロマシン ,  機械要素 ,  真空処理 ,  ジンバル
準シソーラス用語： *櫛形電極

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (8件)： 2次元 ,  くし形電極 ,  マイクロ ,  スキャナ ,  設計 ,  製作 ,  真空 ,  動作特性