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J-GLOBAL ID：201102264454389732   整理番号：11A1208320

高感度容量センサの簡単で低コスト製作

Simple and Low Cost Fabrication of High-Sensitive Capacitance Sensors

著者 (7件)： KASAHARA T. (Waseda Univ., Tokyo, JPN) ,  MIZUSHIMA M. (Oga, Inc., Toyama, JPN) ,  SHINOHARA H. (Waseda Univ., Tokyo, JPN) ,  OBATA T. (Toyama Industrial Technol. Center, Toyama, JPN) ,  FUTAKUCHI T. (Toyama Industrial Technol. Center, Toyama, JPN) ,  MIZUNO J. (Waseda Univ., Tokyo, JPN) ,  SHOJI S. (Waseda Univ., Tokyo, JPN)
資料名： International Conference on Electronics Packaging (CD-ROM)  (International Conference on Electronics Packaging (CD-ROM))
巻： 2010  ページ： ROMBUNNO.TB5-3  発行年： 2010年05月12日 
JST資料番号： L6010B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： センサ ,  *原価低減 ,  高感度 ,  *圧力センサ ,  ポリイミド ,  光架橋 ,  紫外線照射 ,  活性化
準シソーラス用語： *紫外線架橋 ,  低コスト化 ,  表面活性化 ,  容量センサ

分類 (2件)： 力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器  (AD05050V) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (3件)： 高感度 ,  容量センサ ,  製作