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J-GLOBAL ID：201102264797344750   整理番号：11A0096748

損失でのPb(Zr,Ti)O₃/SiN片持ちはりのダイナミック解析的モデリングとピエゾ電気的特性化

Dynamic analytical modelling and piezoelectric characterization of a Pb(Zr, Ti)O₃/SiN cantilever with losses

著者 (8件)： ARNDT G (LETI, CEA, GRENOBLE, FRA) ,  DEFAY E (LETI, CEA, GRENOBLE, FRA) ,  LE RHUN G (LETI, CEA, GRENOBLE, FRA) ,  REY P (LETI, CEA, GRENOBLE, FRA) ,  PERRUCHOT F (LETI, CEA, GRENOBLE, FRA) ,  AID M (LETI, CEA, GRENOBLE, FRA) ,  LIU L (Freescale Semiconductor, AZ, USA) ,  MILLER M (Freescale Semiconductor, AZ, USA)
資料名： Journal of Micromechanics and Microengineering  (Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 20  号： 11  ページ： 115019,1-8  発行年： 2010年11月 
JST資料番号： W1424A  ISSN： 0960-1317  CODEN： JMMIEZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 無線アプリケーションのスイッチ,フィルタ等に用いられるマイクロビームについて検討した。PZT片持ちはりのアドミッタンスのBrissaud表現をベースに,損失を考慮した解析的モデルを開発した。これによってピエゾ電気定数を評価した。また,損失を考慮しない場合の誤差について調べた。長さ80μm,幅40μm,厚さ1060nmについて調べた。ダイナミック測定の精度はインピーダンスメータから得られた信号の質に依存することがわかった。

シソーラス用語： *片持梁 ,  効果 ,  モデリング ,  インピーダンス ,  損失 ,  窒化ケイ素 ,  アクチュエータ
準シソーラス用語： ピエゾ電気効果 ,  アドミタンス ,  窒化シリコン ,  *圧電アクチュエータ

分類 (1件)： 圧電デバイス  (NC03110I)

タイトルに関連する用語 (11件)： 損失 ,  Pb ,  Zr ,  Ti ,  O3 ,  SiN ,  片持ちはり ,  ダイナミック解析 ,  モデリング ,  ピエゾ電気 ,  特性化