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J-GLOBAL ID：201102269339195314   整理番号：11A0648565

若手研究者が選ぶ学会で見つけた注目研究 2)超高周波,高Q値,高圧電性,高キュリー温度の両立に向けて

著者 (1件)： 柳谷隆彦 (名古屋工大)
資料名： 超音波Techno  (超音波テクノ)
巻： 23  号： 2  ページ： 40-44  発行年： 2011年04月01日 
JST資料番号： L2344A  ISSN： 0916-2410  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： SHF帯や大電力での使用に有望な薄膜バルク音響波共振器(FBAR)に適した圧電薄膜に関連した2つの注目研究について紹介した。1つは強誘電体薄膜によるアプローチで,スパッタ法により作製されたPb(Mn,Nb)O₃-PZT薄膜の構造と強誘電体特性について解説した。もう1つは単結晶板の薄片化によるアプローチで,LiNbO₃薄膜共振子について解説した。

シソーラス用語： *単結晶 ,  反応性スパッタリング ,  強誘電体 ,  誘電体薄膜 ,  Q値 ,  Curie温度 ,  圧電気 ,  HF【周波数】
準シソーラス用語： *FBAR ,  圧電薄膜共振器 ,  圧電薄膜共振子 ,  *強誘電体薄膜 ,  研究成果 ,  単結晶板

分類 (1件)： 共振器  (NC04050Y)

タイトルに関連する用語 (8件)： 若手研究者 ,  学会 ,  注目 ,  研究 ,  超高周波 ,  Q値 ,  圧電性 ,  キュリー温度