研究者
J-GLOBAL ID：200901003392519197   更新日: 2024年11月07日

柳谷 隆彦

ヤナギタニ タカヒコ | takahiko yanagitani
所属機関・部署：
早稲田大学 理工学術院

早稲田大学 理工学術院 について


職名： 教授
ホームページURL (1件)： https://yanagitani.w.waseda.jp/
研究分野 (8件)： 応用物理一般 ,  計測工学 ,  結晶工学 ,  応用物性 ,  薄膜、表面界面物性 ,  機械力学、メカトロニクス ,  ロボティクス、知能機械システム ,  電子デバイス、電子機器
研究キーワード (14件)： BAWフィルタ ,  SMR ,  FBAR ,  RF-MEMS ,  ScAlN ,  スパッタリング ,  イオンビーム ,  圧電デバイス ,  弾性表面波 ,  ZnO ,  SAW ,  センサ ,  薄膜 ,  配向制御
競争的資金等の研究課題 (11件)：
  • 2021 - 2024 分極反転圧電薄膜を用いた基地局向けの耐電力小型音響共振子フィルタの実現
  • 2019 - 2022 GHz帯横波斜入射の複素反射率測定による抗原抗体反応の高感度粘弾性計測
  • 2018 - 2021 高速負イオン発生抑制成膜による安価なCeを用いたAlN薄膜の圧電性増幅
  • 2016 - 2019 横波超音波の固有振動数変動による抗原抗体反応の高感度質量計測
  • 2015 - 2018 走査型非線形誘電率顕微法による極性反転圧電薄膜の層状構造測定法の研究
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論文 (168件)：
  • S. Kinoshita, H. Kishi, K. Izumi, T. Yanagitani. GHz voltage amplification in stack of piezoelectric ScAlN and non-piezoelectric SiO2 layers. Appl. Phys. Express. 2024. in press
  • K-H Sano, Y. Ono, R. Tobinaga, Y. Imamura, Y. Hayashi, T. Yanagitani. Atmospheric gas-phase catalyst etching of SiO2 for deep microfabrication using HF gas and patterned photoresist,. ACS Appl. Mater. Interfaces. 2024. 16. 17. 22657-22664
  • J. Jia, D. Kishi, N. Bai, T. Okajima, F. Lesari, T. Yanagitani. Enhanced electromechanical coupling from cation local structures in (Mg,Zn)O. Phys. Rev. B. 2024. 134101
  • S. Tokai, T. Yanagitani. Full-epitaxial ScAlN and MgZnO solidly mounted resonators based on epitaxial acoustic Bragg reflector. Appl. Phys. Lett. 2024. 124,. 082901
  • S. Tokai, T. Yanagitani. Epitaxial ZnO piezoelectric layer on SiO2/Mo solidly mounted resonator fabricated using epitaxial Au sacrificial layer. Appl. Phys. Express. 2024. 17. 025501
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MISC (70件)：
  • Junjun Jia, Takahiko Yanagitani. Enhanced Electromechanical Coupling Near the Phase Boundary in Wurtzite (Mg,Zn)O and (Sc,Al)N. 2024 IEEE MTT-S International Conference on Microwave Acoustics & Mechanics (IC-MAM). 2024
  • 茂木彩音, 柳谷隆彦. 数百MHz帯超音波を用いた複素反射率測定による生体物質の相互作用の検出. 電子情報通信学会技術研究報告. 2023. 123. 41-46
  • 小林栞, 柳谷隆彦. エピタキシャルZnO犠牲層を用いたc軸傾斜エピタキシャルScAlN自立薄膜共振子. 電子情報通信学会技術研究報告. 2023. 123. 18-23
  • 石井直輝, 柳谷隆彦. c軸傾斜Sc0.4Al0.6N薄膜の大面積成膜を目指した矩形カソードによる平行平板スパッタリング. 電子情報通信学会技術研究報告. 2023. 123. 53-58
  • 白岩和剛, 柳谷隆彦. 厚みすべりモードc軸ジグザグScAlN積層を用いたSMR型圧電トランス. 電子情報通信学会技術研究報告. 2023. 123. 47-52
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特許 (10件)：
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書籍 (3件)：
  • 次世代医療・ヘルスケア機器のデバイス技術と最新開発事例集
    技術情報協会 2014
  • 次世代医療・ヘルスケア機器のデバイス技術と最新開発事例集
    技術情報協会 2014
  • Acoustic Waves - From Microdevices to Helioseismology Chapter 22 Shear Mode Piezoelectric Thin Film Resonators pp.501-520
    Intech 2011 ISBN:9789533075723
講演・口頭発表等 (620件)：
  • エピタキシャルYSZ薄膜およびYHfO2薄膜の誘起圧電性
    (応用物理学会 2024)
  • 純 AlN 薄膜 SMR の kt2ヒステリシス特性
    (応用物理学会 2024)
  • 周期的傾斜分極反転構造とベタ電極からなるSAWデバイス
    (応用物理学会 2024)
  • c 軸傾斜 ScAlN 薄膜を用いた送受波型ジャイロセンサの作製
    (応用物理学会 2024)
  • エピタキシャル PbTiO3薄膜を用いた ブラッグ反射器型共振子の分極反転特性
    (応用物理学会 2024)
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学歴 (3件)：
  • 2003 - 2006 同志社大学 工学研究科 電気工学専攻博士後期課程
  • 2001 - 2003 同志社大学 工学研究科 電気工学専攻博士前期課程
  • 1997 - 2001 同志社大学 工学部 電子工学科
学位 (1件)：
  • 博士(工学) (同志社大学)
経歴 (8件)：
  • 2022/04 - 現在 早稲田大学 理工学術院 先進理工学部 電気・情報生命工学科 教授
  • 2015/04 - 2022/03 早稲田大学理工学術院 先進理工学部 電気・情報生命工学科 准教授
  • 2016/10 - 2020/03 JSTさきがけ研究員(兼任)
  • 2012/04 - 2014/03 名古屋工業大学 機械工学科 助教(任期なし)
  • 2008/05 - 2012/03 名古屋工業大学 機械工学科 助教(任期あり)
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委員歴 (9件)：
  • 2014/12 - 現在 Scientific Reports (Nature Publishing Group) 編集委員 Scientific Reports (IF:5.078, Nature Publishing Group) 編集委員 (2014年12月-現在)
  • 2013/10 - 現在 IEEE UFFC ( IUS Technical Program Committee) IEEE IUS Technical Program Committee (Physical Acoustics)(2013年10月-現在)
  • 2012/04 - 現在 日本音響学会誌査読委員 日本音響学会誌 査読委員(2012年04月-現在)
  • 2012/04 - 現在 超音波エレクトロニクスシンポジウム運営委員 論文委員(2010年04月-現在)
  • 弾性波素子技術コンソーシアム 幹事
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受賞 (8件)：
  • 2018 - 文部科学大臣表彰
  • 2016 - 早稲田大学リサーチアワード(国際研究発信力)
  • 2013/11 - 名古屋工業大学 優秀賞(教員評価)
  • 2013/11 - 名古屋工業大学 褒賞
  • 2013/01 - 名古屋工業大学 特別優秀賞(教員評価)
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所属学会 (2件)：
応用物理学会 ,  IEEE
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