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J-GLOBAL ID：201102271096274487   整理番号：11A0136073

音響-光偏向を組み合わせた統計的ランダム位相クロックによる超高精密形状測定

Ultra-precision geometrical measurement technique based on a statistical random phase clock combined with acoustic-optical deflection

著者 (4件)： EKBERG Peter (Micronic Mydata AB, Taeby, SWE) ,  EKBERG Peter (KTH, Stockholm, SWE) ,  STIBLERT Lars (Micronic Mydata AB, Taeby, SWE) ,  MATTSSON Lars (KTH, Stockholm, SWE)
資料名： Measurement Science and Technology  (Measurement Science and Technology)
巻： 21  号： 12  ページ： 125103,1-7  発行年： 2010年12月 
JST資料番号： C0354C  ISSN： 0957-0233  CODEN： MSTCEP  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

シソーラス用語： *液晶ディスプレイ ,  *シャドウマスク ,  装置 ,  光ヘッド ,  システム ,  クロム合金 ,  精度 ,  幅 ,  レーザビーム ,  光走査 ,  音響光学効果 ,  光偏向器 ,  走査 ,  *形状測定 ,  ランダム位相近似 ,  距離測定 ,  標準偏差 ,  SOS構造
準シソーラス用語： 描画装置 ,  光学ヘッド ,  位置決めシステム ,  位置決め精度 ,  ライン幅

分類 (2件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O) ,  表示機器  (NC06030Q)

タイトルに関連する用語 (6件)： 音響 ,  光偏向 ,  統計 ,  ランダム位相 ,  クロック ,  形状測定