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J-GLOBAL ID：201102272089225051   整理番号：11A1147935

Coulombコントローラによる電着多層構造の改良

Improved Electrodeposited Multilayer Structure by Coulomb Controller

著者 (4件)： TAKANE Naoto (Nagano Prefecture General Industrial Technol. Center, Nagano, JPN) ,  TAKANE Naoto (Shinshu Univ., Nagano, JPN) ,  NARITA Hiroshi (Nagano Prefecture General Industrial Technol. Center, Nagano, JPN) ,  ARAI Susumu (Shinshu Univ., Nagano, JPN)
資料名： 電気化学および工業物理化学  (Electrochemistry)
巻： 79  号： 7  ページ： 558-560  発行年： 2011年07月05日 
JST資料番号： G0072A  ISSN： 1344-3542  CODEN： EECTFA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 多層構造の均一性を改良するのにcoulombコントローラの有効性を,定電位単一浴法により目的層厚5nmでCo-Cu/Cu多層を電着させることによって調べた。電流解析と断面電界放出型走査電子顕微鏡観察により析出時間で制御すると層厚が変動することが明らかになった。しかし,厚さの変化はFaraday則に従った。別の試料をCoulombコントローラを用いて電着した。これで電気量による層厚の制御ができる。この試料では層厚は一定であった。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *制御装置 ,  *電着 ,  *多層構造 ,  均一性 ,  *膜厚 ,  コバルト ,  銅 ,  走査電子顕微鏡 ,  顕微鏡観察 ,  Faraday効果
準シソーラス用語： *コントローラ ,  電界放出型走査電子顕微鏡

分類 (2件)： 電気化学反応  (CB07050F) ,  金属薄膜  (BK14030T)

引用文献 (4件)：

• 1) T. Hattori, Y. Kaneko, and S. Hashimoto, J. Jpn. Inst. Met., 73, 306 (2009) [in Japanese].
• 2) Á. Cziráki, M. Köteles, L. Péter, Z. Kupay, J. Pádár, L. Pogány, I. Bakonyi, M. Uhlemann, M. Herrich, B. Arnold, J. Thomas, H. D. Bauer, and K. Wetzig, Thin Solid Films, 433, 237 (2003).
• 3) N. Takane and H. Narita, Electrochemistry, 75, 879 (2007) [in Japanese].
• 4) N. Takane, H. Narita, and S. Arai, Electrochemistry, 79, 156 (2011).

タイトルに関連する用語 (4件)： Coulomb ,  コントローラ ,  電着 ,  多層構造