走査型容量顕微鏡に基づくC-V測定の横方向分解能

文献

J-GLOBAL ID：201102272213273965 整理番号：11A0915580

On the lateral resolution of scanning capacitance microscope based C-V measurements

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巻： 110 号： 10 ページ： 1343-1348 発行年： 2010年09月
JST資料番号： W0972A ISSN： 0304-3991 CODEN： ULTRD 資料種別：逐次刊行物 (A)
発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

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