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J-GLOBAL ID：201102275410493550   整理番号：11A1491800

ポリスチレン微小球の自己組織化配列とリソグラフィ技術を利用した多孔質構造の形成

著者 (4件)： 今井雄大 (北大 量集セ) ,  神保亮平 (北大 量集セ) ,  谷田部然治 (北大 量集セ) ,  佐藤威友 (北大 量集セ)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts of the Meeting. Japan Society of Applied Physics (CD-ROM))
巻： 72nd  ページ： ROMBUNNO.31A-A-10  発行年： 2011年08月16日 
JST資料番号： Y0055B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： ポリスチレン ,  *自己組織化 ,  リソグラフィー ,  *多孔性 ,  ミクロスフェア ,  *パターン転写 ,  エッチング
準シソーラス用語： 多孔質 ,  微小球

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： ポリスチレン ,  微小球 ,  自己組織化 ,  リソグラフィ ,  多孔質構造