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J-GLOBAL ID：201102277390998505   整理番号：11A0300899

PE-CVDロールコーターによるポリマーウェブ上の透明な高いバリアコーティング

Transparent High Barrier Coating on Polymer Web by PE-CVD Roll Coater

著者 (3件)： TAMAGAKI H. (Kobe Steel, Ltd., Takasago, JPN) ,  OKIMOTO T. (Kobe Steel, Ltd., Takasago, JPN) ,  SEGAWA T. (Kobe Steel, Ltd., Takasago, JPN)
資料名： Proceedings of the Annual Technical Conference. Society of Vacuum Coaters  (Proceedings of the Annual Technical Conference. Society of Vacuum Coaters)
巻： 53rd  ページ： 553-557  発行年： 2010年 
JST資料番号： E0063B  ISSN： 0737-5921  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 単純な機械的な構造を用いて,新しいロールツーロールPE-CVDシステムを開発した。本論文はこの新しいロールツーロールPE-CVD技術,およびこの技術によるSiOxコーティングのバリア性能を示した。システムの新しい構成は,プロセス安定性,有効な利用プロセスガス,プロセスの高い蒸着速度,低汚染およびスケーラビリティという長所を持った。プロセスガスとしてのHMDSO/O混合物を用いることによって,透明なSiOxコーティングを蒸着した。また,900nm-m/mimほど高い蒸着速度を実証した。

シソーラス用語： *プラズマCVD ,  ロール ,  *塗工機 ,  *重合体 ,  *ウェブ【繊維】 ,  *透明材料 ,  *被覆 ,  技術開発 ,  *酸化ケイ素 ,  ガスバリヤ性 ,  化学プロセス ,  安定性 ,  気体 ,  堆積速度 ,  スケーラビリティ【計算機】 ,  *薄膜成長 ,  生産方式
準シソーラス用語： コータ ,  コーティング ,  プロセスガス ,  ロール・ツー・ロール方式 ,  蒸着速度

分類 (2件)： 薄膜一般  (BK14010X) ,  反応操作(単位反応)  (XE01040I)

タイトルに関連する用語 (1件)： ロールコーター