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J-GLOBAL ID：201102279103334947   整理番号：11A0306376

シミュレーテッドアニーリングによるOPCレシピ最適化

OPC Recipe Optimization Using Simulated Annealing

著者 (1件)： DESOUKY Tamer (Mentor Graphics, Cairo, EGY)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 7823  号： Pt.2  ページ： 78233N.1-78233N.9  発行年： 2010年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 遺伝的アルゴリズムと異なり,シミュレーテッドアニーリングよるシミュレーションは微分評価を必要としないので,計算容量を小さくできる。コーナー形状,分割パラメータ,スケールパラメータについてコスト関数を評価し,一連の最適化の結果を示した。シミュレーテッドアニーリングを光近接効果補正(OPC)レシピ最適化に採用することを提案する。

シソーラス用語： *シミュレーテッドアニーリング ,  シミュレーション ,  補正 ,  費用関数 ,  最適化 ,  リソグラフィー
準シソーラス用語： コスト関数 ,  スケール依存性 ,  形状依存性 ,  *光近接効果補正

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： シミュレーテッドアニーリング ,  OPC ,  レシピ ,  最適化