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J-GLOBAL ID:201102287376944201   整理番号:11A1429085

高温アプリケーション用のダイボンディング材料:レビュー

Die Attach Materials for High Temperature Applications: A Review
著者 (2件):
資料名:
巻:号: 3/4  ページ: 457-478  発行年: 2011年03月 
JST資料番号: W0590B  ISSN: 2156-3950  CODEN: ITCPC8  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 文献レビュー  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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半導体デバイスの高性能化,高機能化が進み,そのアプリケーションも増えており,これまで以上の厳しい環境での信頼性が求められている。ダイボンディング材料もこのような厳しき環境に耐えるため,高温アプリケーション用のダイボンディング材料が求められている。本稿では,これまでに検討されてきた高温アプリケーション用ダイボンディング材料のレビューを行った。これらは,金-スズ(Au-Sn),金ゲルマニウム(Au-Ge),金-シリコン(Au-Si),銀ガラス,銀インジウム(Ag-In),高鉛(Pb)ソリューション,やナノスケール銀(Ag)などがある。これらを含め,報告されている各種高温アプリケーション用のダイボンディング材料の文献を紹介した。
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分類 (1件):
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固体デバイス材料 
タイトルに関連する用語 (3件):
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