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J-GLOBAL ID：201102290477081434   整理番号：11A1842839

低密度プラズマに基づく6.7nmにおける極端紫外光源

Extreme ultraviolet source at 6.7 nm based on a low-density plasma
著者 (9件)：
HIGASHIGUCHI Takeshi

HIGASHIGUCHI Takeshi について

(Dep. of Advanced Interdisciplinary Sciences, Center for Optical Res. & Education (CORE), and Optical Technol. ...)

Dep. of Advanced Interdisciplinary Sciences, Center for Optical Res. & Education (CORE), and Optical Technol. ... について

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OTSUKA Takamitsu

OTSUKA Takamitsu について

(Dep. of Advanced Interdisciplinary Sciences, Center for Optical Res. & Education (CORE), and Optical Technol. ...)

Dep. of Advanced Interdisciplinary Sciences, Center for Optical Res. & Education (CORE), and Optical Technol. ... について

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YUGAMI Noboru

YUGAMI Noboru について

(Dep. of Advanced Interdisciplinary Sciences, Center for Optical Res. & Education (CORE), and Optical Technol. ...)

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JIANG Weihua

JIANG Weihua について

(Dep. of Electrical Engineering, Nagaoka Univ. of Technol., Kami-tomiokamachi 1603-1, Nagaoka, Niigata 940-2188 Japan)

Dep. of Electrical Engineering, Nagaoka Univ. of Technol., Kami-tomiokamachi 1603-1, Nagaoka, Niigata 940-2188 Japan について

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ENDO Akira

ENDO Akira について

(Res. Inst. for Sci. and Engineering, Waseda Univ., Okubo 3-4-1, Shinjuku, Tokyo 169-8555, JPN)

Res. Inst. for Sci. and Engineering, Waseda Univ., Okubo 3-4-1, Shinjuku, Tokyo 169-8555, JPN について

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LI Bowen

LI Bowen について

(School of Physics, Univ. Coll. Dublin, Belfield, Dublin 4, Ireland)

School of Physics, Univ. Coll. Dublin, Belfield, Dublin 4, Ireland について

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KILBANE Deirdre

KILBANE Deirdre について

(School of Physics, Univ. Coll. Dublin, Belfield, Dublin 4, Ireland)

School of Physics, Univ. Coll. Dublin, Belfield, Dublin 4, Ireland について

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DUNNE Padraig

DUNNE Padraig について

(School of Physics, Univ. Coll. Dublin, Belfield, Dublin 4, Ireland)

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O’SULLIVAN Gerry

O’SULLIVAN Gerry について

(School of Physics, Univ. Coll. Dublin, Belfield, Dublin 4, Ireland)

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資料名：
Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)

Applied Physics Letters について


巻： 99  号： 19  ページ： 191502  発行年： 2011年11月07日 
JST資料番号： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
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ガドリニウム(Gd)プラズマの光学的厚さを最適化して,λ=6.7nmで動作する効率的極端紫外(EUV)光源を実証した。低初期密度Gdターゲットと二重レーザパルス照射を用いて,0.6%帯域幅に対して0.54%(2%帯域幅に対して1.8%)の最高EUV変換効率を観測した。これは固体密度ターゲットから生成された0.33%(0.6%帯域幅)変換効率の1.6倍である。低密度プラズマを利用したEUV変換効率の向上は自己吸収効果の低下に起因した。(翻訳著者抄録)
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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*プラズマ

プラズマ について

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極端紫外線

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*光源

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ガドリニウム

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光学的厚さ

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*パルスレーザ照射

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効率

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準シソーラス用語：
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*極端紫外線光源

極端紫外線光源 について

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*低密度プラズマ

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変換効率

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分類 (1件)：
分類
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固体デバイス製造技術一般 
(NC03030V)

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タイトルに関連する用語 (2件)：
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低密度プラズマ

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極端紫外光源

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