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J-GLOBAL ID：201102294759207177   整理番号：11A0167764

高性能ナノエレクトロメカニカルスイッチのための吊り単結晶ダイヤモンドナノワイヤ

Suspended Single-Crystal Diamond Nanowires for High-Performance Nanoelectromechanical Switches

著者 (5件)： LIAO Meiyong (NIMS, Ibaraki, JPN) ,  HISHITA Shunichi (NIMS, Ibaraki, JPN) ,  WATANABE Eiichiro (National Inst. Materials Sci. (NIMS), Ibaraki, JPN) ,  KOIZUMI Satoshi (NIMS, Ibaraki, JPN) ,  KOIDE Yasuo (NIMS, Ibaraki, JPN)
資料名： Advanced Materials  (Advanced Materials)
巻： 22  号： 47  ページ： 5393-5397  発行年： 2010年12月14日 
JST資料番号： W0001A  ISSN： 0935-9648  CODEN： ADVMEW  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高温高圧I型ダイヤモンド基板上でイオン注入,ダイヤモンド成長,リソグラフィー,金属(アルミニウム)蒸着,ドライエッチングおよび酸エッチングなどの技法を用いて単結晶ダイヤモンドナノワイヤ,ナノカンチレバーおよびナノブリッジを作製する方法を提案した。この方法を用いて磨耗や静摩擦などの問題のないナノメカニカルスイッチ(NEMS)を作製することができた。これらのNEMSは制御可能性の高さ,再現性の高さおよび高温安定性の高さが優れていた。

シソーラス用語： *MEMS ,  *スイッチ ,  ダイヤモンド ,  単結晶 ,  熱安定性
準シソーラス用語： *ナノエレクトロメカニカルシステム ,  単結晶ダイアモンド

分類 (2件)： 固-気界面一般  (CB12041H) ,  無機化合物一般及び元素  (CD01010D)

タイトルに関連する用語 (3件)： 高性能 ,  単結晶ダイヤモンド ,  ナノワイヤ