文献

J-GLOBAL ID：201102298055701422   整理番号：11A0557154

境界要素法による微細孔埋め込みめっきシミュレーション

著者 (3件)： 早房敬祐 (荏原製作所) ,  下山正 (荏原製作所) ,  天谷賢治 (東京工大 大学院)
資料名： 日本機械学会計算力学講演会論文集(CD-ROM)  (日本機械学会計算力学講演会(CD-ROM))
巻： 23rd  ページ： ROMBUNNO.601  発行年： 2010年09月22日 
JST資料番号： L0203B  ISSN： 2424-2799  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 近年,半導体の高集積化による多層配線化および配線の微細化が進行しており,チップ上の微細孔や微細配線に対するめっきの埋め込みが一層困難になってきている。実験のみのプロセス開発は限界に達しつつあため,数値シミュレーションの導入が行われており,差分法や有限体積法を用いた解析手法が提案されている。本研究ではめっき進展に伴う境界形状変化の予測手法の確立を目指し,数値解析手法として境界要素法を導入し,その妥当性の検証を行う。(著者抄録)

シソーラス用語： 電気めっき ,  *境界要素法 ,  電着 ,  精密化 ,  穴 ,  *半導体チップ
準シソーラス用語： *穴埋めめっき ,  数値シミュレーション ,  微細孔

分類 (1件)： 電気化学的操作・装置一般  (XE02010I)

タイトルに関連する用語 (5件)： 境界要素法 ,  微細孔 ,  埋め込み ,  めっき ,  シミュレーション